　　使用水平儀放置在曝光機(jī)的工作平臺(tái)上，檢查平臺(tái)是否水平。如果平臺(tái)不水平，會(huì)導(dǎo)致玻璃碎片在曝光過(guò)程中受力不均，影響曝光效果。通過(guò)調(diào)整平臺(tái)底部的調(diào)節(jié)螺絲，使平臺(tái)在X和Y方向上都達(dá)到水平狀態(tài)。

　　2.傳送帶校準(zhǔn)（如果有傳送帶系統(tǒng)）

　　檢查傳送帶的運(yùn)行速度是否均勻?？梢允褂棉D(zhuǎn)速表或激光測(cè)速儀來(lái)測(cè)量傳送帶在不同位置的速度。確保傳送帶在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下，其速度波動(dòng)范圍在允許的范圍內(nèi)，一般速度波動(dòng)不應(yīng)超過(guò)設(shè)定速度的±1%。

　　校準(zhǔn)傳送帶的平行度和垂直度。平行度偏差過(guò)大可能導(dǎo)致玻璃碎片在傳送過(guò)程中發(fā)生偏移，影響曝光位置的準(zhǔn)確性?？梢允褂镁芰烤撸ㄈ缜Х殖撸﹣?lái)測(cè)量傳送帶兩側(cè)與基準(zhǔn)導(dǎo)軌之間的距離，調(diào)整傳送帶的安裝位置，使其平行度誤差控制在較小范圍內(nèi)。

　　3.玻璃碎片定位校準(zhǔn)

　　對(duì)于有機(jī)械定位裝置的曝光機(jī)，檢查定位銷、夾具等的位置精度。使用標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)或坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）來(lái)測(cè)量定位部件的尺寸和位置。

　　進(jìn)行重復(fù)性測(cè)試。將同一塊玻璃碎片多次放置在定位裝置上，檢查每次放置的位置偏差。通過(guò)調(diào)整定位裝置的彈性元件或鎖緊機(jī)構(gòu)，使位置重復(fù)性誤差滿足工藝要求，通常位置重復(fù)性誤差應(yīng)小于±0.02mm。

　　二、玻璃碎片曝光機(jī)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)

　　1.光源校準(zhǔn)

　　檢查光源的強(qiáng)度和均勻性。使用照度計(jì)或光功率計(jì)測(cè)量光源在工作區(qū)域內(nèi)的光照強(qiáng)度。對(duì)于紫外（UV）光源，要確保其光譜分布符合曝光工藝的要求。

　　調(diào)整光源的位置，使光線能夠垂直照射在玻璃碎片上。可以通過(guò)觀察光線在玻璃表面的反射情況來(lái)判斷，或者使用光學(xué)定位儀器來(lái)精確調(diào)整光源的角度。一般來(lái)說(shuō)，光線入射角偏差應(yīng)控制在±1°以內(nèi)，以保證曝光的均勻性。

　　2.鏡頭校準(zhǔn)

　　檢查鏡頭的焦距。將標(biāo)準(zhǔn)的分辨率測(cè)試靶（如分辨率板）放置在玻璃碎片的位置，通過(guò)調(diào)整鏡頭與玻璃碎片之間的距離，使測(cè)試靶的圖像最清晰。記錄此時(shí)的鏡頭位置，作為焦距的參考值。在實(shí)際工作中，鏡頭焦距的偏差可能會(huì)導(dǎo)致圖像模糊，影響曝光精度。

　　校準(zhǔn)鏡頭的畸變。使用高精度的網(wǎng)格圖案或棋盤格圖案作為測(cè)試對(duì)象，通過(guò)圖像采集系統(tǒng)獲取經(jīng)過(guò)鏡頭后的圖像。分析圖像中網(wǎng)格或棋盤格的變形情況，利用圖像處理軟件和鏡頭畸變校正算法，對(duì)鏡頭的畸變進(jìn)行補(bǔ)償。

　　3.光路對(duì)準(zhǔn)校準(zhǔn)

　　確保光源、鏡頭和玻璃碎片之間的光路準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)?？梢酝ㄟ^(guò)在光路中放置小孔或狹縫光闌，觀察光線通過(guò)光闌后在玻璃碎片上的光斑位置。調(diào)整光源、鏡頭和玻璃碎片的相對(duì)位置，使光斑準(zhǔn)確地落在需要曝光的區(qū)域中心。光斑中心位置偏差一般應(yīng)控制在±0.05mm以內(nèi)。

　　三、玻璃碎片曝光機(jī)電氣系統(tǒng)校準(zhǔn)

　　1.控制系統(tǒng)校準(zhǔn)

　　檢查曝光機(jī)控制系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置是否正確。包括曝光時(shí)間、曝光強(qiáng)度等參數(shù)。使用標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)間計(jì)量器具（如秒表或高精度時(shí)間計(jì)數(shù)器）來(lái)校準(zhǔn)曝光時(shí)間。

　　對(duì)于自動(dòng)化程度較高的曝光機(jī)，檢查其控制程序中的傳感器信號(hào)反饋是否正常。例如，檢查光電傳感器對(duì)玻璃碎片位置的檢測(cè)是否準(zhǔn)確，通過(guò)模擬玻璃碎片的移動(dòng)，觀察傳感器輸出的信號(hào)變化是否符合預(yù)期，并且與控制系統(tǒng)的動(dòng)作是否協(xié)調(diào)一致。

　　2.電路連接和信號(hào)傳輸校準(zhǔn)

　　檢查電氣柜內(nèi)的各種電路連接是否牢固，有無(wú)松動(dòng)或虛接的情況。使用電路測(cè)試儀檢查線路的通斷情況，確保電源、信號(hào)等線路正常。

　　對(duì)于采用通信協(xié)議進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸?shù)钠毓鈾C(jī)，檢查通信線路的質(zhì)量。可以通過(guò)發(fā)送和接收測(cè)試數(shù)據(jù)包，檢查數(shù)據(jù)的傳輸是否正確，有無(wú)丟包或誤碼的情況。

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玻璃碎片曝光機(jī)的校準(zhǔn)方法